文献类型：期刊文章

作　　者：李永[1] 赵正平[2]

Li Yong;Zhao Zhengping(The 13^(th)Research Institute,China Electronics Technology Group Corporation,Shijiazhuang 050051,China;Science and Technology on ASIC Laboratory,Shijiazhuang 050051,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051 [2]专用集成电路重点实验室,石家庄050051

出　　处：《微纳电子技术》

年　　份：2021

卷　　号：58

期　　号：9

起止页码：757-768

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件。当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段。从微结构、电子学控制、工艺平台和集成应用四个方面综述了MEMS陀螺仪的最新进展。对MEMS陀螺仪分别按简并和非简并工作模式;速率陀螺仪的机械化和全角机械化;体Si、表面工艺、3D结构、封装和修调工艺等;高性能集成、高精度校准、数据融合新算法和各类导航应用等详细分类与内容进行介绍。在提取MEMS陀螺仪在微结构等四个方面的技术创新点的基础上,进一步分析了MEMS陀螺仪的发展趋势和未来发展重点。

关 键 词：MEMS陀螺仪 传感器 角度陀螺仪  速率陀螺仪 惯性测量单元(IMU)  

分 类 号：V241.5] TH703[仪器类]