文献类型：期刊文章

作　　者：朱晓枭[1] 周瑜[1] 刘云飞[1] 冯杰[1]

ZHU Xiaoxiao;ZHOU Yu;LIU Yunfei;FENG Jie(The Third Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Beijing 100015,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第三研究所,北京100015

出　　处：《电声技术》

年　　份：2021

卷　　号：45

期　　号：7

起止页码：21-29

语　　种：中文

收录情况：JST、普通刊

摘　　要：微系统将信息的获取、处理、分析及执行融为一体,整合了传统电子信息系统的各个子系统,具有尺寸小、功能丰富且完整、可靠性高、功耗低以及成本低等特点,在军事、工业及农业等领域有巨大的应用价值和前景。基于此,系统性地阐述微系统的概念,总结微系统技术的发展现状及其趋势,并梳理微系统技术的应用领域和方向。

关 键 词：微电子信息系统  MEMS 集成技术

分 类 号：TN409]