文献类型：期刊文章

作　　者：吴雨彤[1] 毕哲[1] 杨扬仲夫[2] 马浩淼[1] 吴海[1,3]

WU Yu-tong;BI Zhe;YANG Yang-zhongfu;MA Hao-miao;WU Hai(National Institute of Metrology,Beijing 100029,China;Chinese Society for Measurement,Beijing 100029,China;Zhengzhou Institute of Metrology,Zhengzhou,Henan 450001,China)

机构地区：[1]中国计量科学研究院,北京100029 [2]中国计量测试学会,北京100029 [3]郑州计量先进技术研究院,河南郑州450001

出　　处：《计量学报》

基　　金：国家自然科学基金(41727805);质量技术监督能力提升专项(ANL1811)。

年　　份：2021

卷　　号：42

期　　号：7

起止页码：956-963

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CSCD、CSCD_E2021_2022、IC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于质量流量控制器(MFC)搭建了一套稀释装置,并通过高精度甲烷光谱仪验证了该装置的可靠性。试验结果表明,稀释比为0.01~0.02时,理论稀释浓度的相对误差不超过±4%;稀释比为0.04~0.1时,理论稀释浓度的相对误差在±0.5%以内。因此,稀释比很小时稀释装置的准确性欠佳。MFC上游输入气体压力变化对其输出气体流量存在影响,当输入压力在0.2~0.6 MPa范围内变化时,MFC输出气体流量变化极差不超过1%,由此导致稀释装置输出的标准气体浓度的变化不超过1%。使用稀释装置制备标准气体时,优先设定MFC在满量程10%以上的范围内工作,以保证稀释装置的可靠性。

关 键 词：计量学 气体稀释装置  标准气体 稀释比 不确定度

分 类 号：TB99]