文献类型：期刊文章

作　　者：王成武[1] 陆惠宗[2] 吴俊杰[2] 孙爱西[1] 屠明亮[3]

Wang Chengwu;Lu Huizong;Wu Junjie;Sun Aixi;Tu Mingliang(Zhejiang Normal University,Jinhua 321004,China;Ultra Precision Machine Research Center,Zhejiang University of Technology,Hangzhou 310023,China;Shaoxing Vocational&Technical College,Zhejiang 312000,China)

机构地区：[1]浙江师范大学,金华321004 [2]浙江工业大学超精密加工研究中心,杭州310023 [3]绍兴职业技术学院,浙江312000

出　　处：《仪器仪表学报》

基　　金：国家重点研发计划(2018YFB2000403);浙江省自然科学基金(LY18E050021)项目资助。

年　　份：2021

卷　　号：42

期　　号：5

起止页码：1-8

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、EAPJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于非接触高测量精度、便于使用等特点,激光三角法测距在科研和工业生产实践中已获得了广泛的应用。位移测量是通过激光斑在成像光敏面上的位移来决定的,在不同的应用中两者之间多项式拟合的参数选择也往往不同,选择合适的多项式,实现快速、高精度测量对不同的应用有很重要的意义。本文针对激光三角法位移测量被测面位移量y与成像光斑在光敏面上位移量x之间的非线性关系,系统分析了y作为x的函数用多项式拟合过程中的误差来源,实验搭建了一台小型激光三角位移传感器,根据实验测量数据,验证了搭建的激光三角位移测量装置满足Scheimflug条件,根据实验测量值和多项式拟合计算的位移值,定义了一个评判拟合质量的质量因子Q,通过计算Q,确定了最佳多项式拟合。

关 键 词：激光三角法测距  测量精度  多项式拟合 误差分析

分 类 号：TH74]