文献类型：期刊文章

作　　者：贺自名[1] 牛江川[1] 张静[2]

HE Zi-ming;NIU Jiang-chuan;Zhang Jing(School of Mechanical Engineering,Shijiazhuang Tiedao University,Shijiazhuang 050043,China;Basic Teaching Department,Shijiazhuang Posts and Telecommunications Technical College,Shijiazhuang 050021,China)

机构地区：[1]石家庄铁道大学机械工程学院,河北石家庄050043 [2]石家庄邮电职业技术学院基础教学部,河北石家庄050021

出　　处：《控制工程》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11872254)。

年　　份：2021

卷　　号：28

期　　号：7

起止页码：1308-1314

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CSCD、CSCD_E2021_2022、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：在电阻加热式真空蒸发镀膜过程中,需要通过对蒸发源的温度进行控制从而实现蒸发速率的控制。针对真空镀膜系统中蒸发源的温度变化具有非线性、时变性和滞后性的特点,提出了一种基于Smith预估的变论域模糊自适应PID的改进控制算法。基于改进的差分进化算法辨识真空镀膜温控系统的传递函数,结合变论域模糊自适应PID算法和比例控制构成分段控制模型。最后利用MATLAB进行仿真验证,结果表明,相较于Smith预估控制和模糊自适应PID控制算法,改进后的算法具有调节时间短、超调量几乎为零、无稳态误差等特点,对电阻加热式真空镀膜温控系统具有较好的自适应能力。

关 键 词：电阻加热式真空镀膜  模型辨识 差分进化算法 变论域模糊自适应PID  分段控制  

分 类 号：TP13]