文献类型：期刊文章

作　　者：张博[1] 贺青[1] 杨欣达[1] 欧阳鹏辉[1] 王轶文[2] 韦联福[1,3]

Zhang Bo;He Qing;Yang Xin-Da;Ouyang Peng-Hui;Wang Yi-Wen;Wei Lian-Fu(Information Quantum Technology Laboratory,School of Information Science and Technology,Southwest Jiaotong University,Chengdu 610031,China;Quantum Optoelectronics Laboratory,School of Physics Science and Technology,Southwest Jiaotong University,Chengdu 610031,China;Photonics Laboratory,School of Science,Donghua University,Shanghai 201620,China)

机构地区：[1]西南交通大学信息科学与技术学院,信息量子技术实验室,成都610031 [2]西南交通大学物理科学与技术学院,量子光电实验室,成都610031 [3]东华大学理学院,光子学实验室,上海201620

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家自然科学基金(批准号:11974290,61871333)资助的项目.

年　　份：2021

卷　　号：70

期　　号：15

起止页码：319-325

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、EAPJ2020、EI、IC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：功分器是将信号按照一定比例进行功率分配的微波器件,广泛应用于微波电路.鉴于超导功分器是超导量子计算电路和超导微波光子探测器的重要器件单元,本文首先采用奇偶模方法分析三端口微波网络传输特性以获取无隔离电阻功分器的参数,其次通过商用电磁仿真软件HFSS设计了中心频率为5 GHz、功分比为等分的共面波导型超导微波功分器.然后利用微加工技术在硅基上制备了该原型器件,并在极低温平台对其功分特性进行了实验测试.结果表明,所制备的功分器在5-5.5 GHz频段内的功分参数与设计参数一致.因此,本文工作可推广应用于超导微波电路中其他无源器件的设计和制备.

关 键 词：共面波导 超导微波功分器  微加工 极低温测试系统  

分 类 号：TN626]