文献类型：期刊文章

作　　者：李艳丽[1] 贾鑫[2] 曹凯强[1] 张枫茁[1] 陈龙[1] 贾天卿[1]

LI Yanli;JIA Xin;CAO Kaiqiang;ZHANG Fengzhuo;CHEN Long;JIA Tianqing(State Key Laboratory of Precision Spectroscopy,East China Normal University,Shanghai 200241,China;School of Arts and Sciences,Shanghai Dianji University,Shanghai 201306,China)

机构地区：[1]华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室,上海200241 [2]上海电机学院文理学院,上海201306

出　　处：《光子学报》

基　　金：国家自然科学基金(Nos.12074123,11804227,91950112);上海市科学技术委员会(No.19ZR1414500);强场激光物理国家重点实验室开放基金(中国科学院上海光学精密机械研究所)。

年　　份：2021

卷　　号：50

期　　号：6

起止页码：100-107

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用飞秒激光双光束干涉技术,结合柱透镜线扫描技术,在30 s内制备了面积为10 mm×10 mm的微米-纳米复合结构,极大地提升了激光加工效率。飞秒激光刻蚀后的硅表面包含双光束干涉引起的长周期微米结构,以及飞秒激光诱导的纳米周期结构。微米-纳米复合结构极大地提升了表面粗糙度,在毛细效应的作用下,硅在空气中显示出超亲水性,接触角从40°降为0°。测量烧蚀前后硅表面的X射线光电子能谱,发现激光加工后硅表面的Si-OH和H_2O分子的含量分别增加22.3%和13.6%,这进一步增强了硅表面的亲水性。随着激光照射功率的增加以及扫描速度的下降,硅表面接触角逐步下降。本文研究为高效制备大面积超亲水结构提供了新方法,在热传导、生物芯片等领域具有潜在的应用价值。

关 键 词：飞秒激光 双光束干涉 硅 微米-纳米复合结构  超亲水

分 类 号：TN244]