文献类型：期刊文章

作　　者：陈克楠[1]

Chen Kenan(School of Mechanical Engineering,Hubei University of Technology,Wuhan,Hubei 430068,China;Hubei Key Laboratory of Modern Manufacturing Quality Engineering,Wuhan 430068,China)

机构地区：[1]湖北工业大学机械工程学院现代制造质量工程湖北省重点实验室

出　　处：《中国新通信》

年　　份：2021

卷　　号：23

期　　号：9

起止页码：155-158

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：基于光束传输方法,设计了一种紧凑的1x32聚合物光功分器。工作中心波长为1550 nm,可应用于光电电路板(EOPCB)。光功分器的长度为20000μm。每个输出端口之间的间距为127μm。光功分器芯层的横截面为10μm x10μm。选用二氧化硅作为包层材料。采用飞秒激光结合湿法刻蚀制备。测试结果表明,光功分器输出端的插入损耗<27dB,均匀性1.2 dB。可以满足EOPCB的光互连。

关 键 词：光电电路板  光功分器 湿法刻蚀 飞秒激光

分 类 号：TN626] TN41