文献类型：期刊文章

作　　者：庞恒强[1] 丁胜[1] 卢宁[1] 薛凯[1]

PANG Hengqiang;DING Sheng;LU Ning;XUE Kai(Zhejiang JinKo Solar Co.Ltd.,Haining 314400,China)

机构地区：[1]浙江晶科能源有限公司,浙江海宁314400

出　　处：《材料科学与工程学报》

年　　份：2021

卷　　号：39

期　　号：3

起止页码：452-460

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD_E2021_2022、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：优化晶体硅材料的光学特性,可有效提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,在钝化发射极和背表面太阳电池(PERC)上成功制备出叠层结构的多层减反射薄膜提升硅材料的光学特性。研究结果表明,正面使用二氧化硅(SiO_(2))、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅作为器件的叠层介质膜,将SiO_(2)/Si优良的界面性质和SiNx、氮氧化硅稳定的化学性质结合起来,使器件具有稳定的钝化特性。在叠层结构器件中,SiO_(2)作为缓冲层有利于减少光学损失和钝化表面缺陷态,薄的SiO_(2)几乎不会对多层减反结构产生干扰。SiNx可以有效降低光在器件表面的光学反射率,增加光的透射从而减少器件本身的光学损失。氨气有助于强化氢气在硅片表面的扩散,降低长波的光学损失和降低表面复合速率。PECVD制备的氮氧化硅在短波区域具有很好的吸收效果,表面复合速率明显下降,有效提高器件的短波响应。与此同时,经过热处理的减反射薄膜还可以钝化器件的缺陷,最终提升太阳能电池的减反射性能和钝化性能。

关 键 词：钝化发射极和背面电池  氮氧化硅薄膜  叠层介质膜  氢钝化  反射率 转换效率  

分 类 号：TM914.4]