文献类型：期刊文章

作　　者：王刚[1,2] 姚锦元[1,2] 王博[1,2] 程萍[1,2] 丁桂甫[1,2]

WANG Gang;YAO Jinyuan;WANG Bo;CHENG Ping;DING Guifu(National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China;Department of Micro/Nano Electronics,School of Electronic Information and Electrical Engineering,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China)

机构地区：[1]上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240 [2]上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240

出　　处：《传感器与微系统》

年　　份：2021

卷　　号：40

期　　号：6

起止页码：37-39

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CSCD、CSCD_E2021_2022、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：鉴于航空发动机部件温度高、温度变化快的特性,本文采用微机电系统(MEMS)工艺制备高温Pt-PtRh薄膜热电偶,分别搭建薄膜热电偶的静态标定和动态响应测试平台,对薄膜热电偶的热电输出特性进行了标定,结果表明:Pt-PtRh薄膜热电偶与标准丝状同材质热电偶的输出特性基本一致,平均塞贝克系数为13.8μV/K,动态测试的整体响应时间在25~40μs范围内,具有很快的响应速度。

关 键 词：Pt-PtRh  薄膜热电偶 静态标定  动态特性

分 类 号：TP212] TH811]