文献类型：期刊文章

作　　者：庞继伟[1] 王超[2] 蔡玉奎[2,3]

PANG Jiwei;WANG Chao;CAI Yukui(School of Intelligent Manufacturing, Shandong Polytechnic, Ji’nan 250100, China;School of Mechanical Engineering, Shandong University, Ji’nan 250000, China;Shenzhen Research Institute, Shandong University, Shenzhen 518000, China)

机构地区：[1]山东职业学院智能制造学院,济南250100 [2]山东大学机械工程学院,济南250000 [3]山东大学深圳研究院,深圳518000

出　　处：《激光技术》

基　　金：广东省基础与应用基础研究基金资助项目(2019A1515110553);山东省重点研发计划(软科学)资助项目(2019RZB01084)。

年　　份：2021

卷　　号：45

期　　号：4

起止页码：417-428

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD_E2021_2022、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：玻璃材料因其优良、独特的理化性能在半导体、微流控芯片、微机电系统、光通讯及光存储等新兴领域有广泛的应用。激光技术作为一种新型非接触加工方法,可以对玻璃材料表面或其内部进行高精度、高效率的微加工,在玻璃材料加工领域展现出巨大潜力。归纳了激光刻蚀、激光打孔、激光焊接及激光制备功能结构4种典型的激光加工玻璃工艺的基本原理及关键问题,指出了玻璃材料激光加工的最新研究进展、工艺水平及应用现状,其中激光刻蚀包括了激光直写刻蚀、激光诱导等离子体刻蚀与激光背部湿法刻蚀;激光打孔包括了远红外CO_(2)激光打孔、超快激光打孔及改进的打孔方法;激光焊接玻璃工艺包括远红外CO_(2)激光焊接、纳秒激光焊接、超快激光焊接,以及激光制备表面和内部3维功能结构。同时总结了4类激光加工玻璃工艺的优缺点,分析了目前的瓶颈问题。在此基础上,对激光加工玻璃材料的发展前景进行总结和展望。

关 键 词：激光技术 玻璃材料加工  超快激光 CO2激光 功能结构  

分 类 号：TG665]