文献类型：期刊文章

作　　者：余佳俊[1] 钱叶铮[1] 丁凯旋[1] 李大庆[1] 肖少庆[1]

YU Jiajun;QIAN Yezheng;DING Kaixuan;LI Daqing;XIAO Shaoqing(Department of Electronic Engineering,Internet of Things Engineering Institute,Jiangnan University,Wuxi 214122,CHN)

机构地区：[1]江南大学物联网工程学院电子工程系,江苏无锡214122

出　　处：《半导体光电》

基　　金：国家自然科学基金项目(11704159);江苏省自然科学基金项目(BK20170167);中央高校基础研究基金项目(JUSRP51726B)。

年　　份：2021

卷　　号：42

期　　号：2

起止页码：259-263

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、IC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：二硒化铼(ReSe_(2))因具有较好的红外光响应和各向异性特性而成为近年来的研究热点。采用盐辅助化学气相沉积技术,在SiO_(2)/Si衬底上成功合成了大面积的单层ReSe_(2)薄膜,其尺寸达到80μm。采用拉曼光谱(Raman)、光致发光光谱(PL)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)等手段对制备的ReSe_(2)薄膜样品进行了形貌、光谱、厚度和元素成分的表征,结果表明所制备的ReSe_(2)薄膜晶体质量高。基于单层ReSe_(2)薄膜构筑了场效应晶体管,系统研究了其光电特性,结果显示器件的响应时间达毫秒级。

关 键 词：ReSe_(2)薄膜  化学气相沉积 二维材料  光电特性

分 类 号：TN304]