文献类型：期刊文章

作　　者：陈秋白[1,2] 张齐元[2] 王艳[1,2] 许帅[2,4] 王全召[3] 韩森[1,2]

Chen Qiubai;Zhang Qiyuan;Wang Yan;Xu Shuai;Wang Quanzhao;Han Sen(School of Optical-Electrical and Computer Engineering,University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093,China;Suzhou H&L Instruments LLC.,Suzhou,Jiangsu 215123,China;Suzhou Wi&N Instruments LLC.,Suzhou,Jiangsu 215123,China;School of Mathematics and Physics,Suzhou University of Science and Technology,Suzhou,Jiangsu 215009,China)

机构地区：[1]上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093 [2]苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123 [3]苏州维纳仪器有限责任公司,江苏苏州215123 [4]苏州科技大学数理学院,江苏苏州215009

出　　处：《激光与光电子学进展》

基　　金：国家重点研发计划(2016YFF0101903)。

年　　份：2021

卷　　号：58

期　　号：1

起止页码：173-180

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CSCD、CSCD2021_2022、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对使用点光源的激光干涉仪在测量中容易出现相干噪声的问题,阐述了环形光源抑制相干噪声的原理,分析了环形光源半径及厚度与条纹可见度之间的关系,提出一种基于环形透镜产生环形光源的光学系统。该系统包括扩束系统、环形透镜和双远心镜头,根据菲索干涉仪中的准直镜头和干涉腔长得到环形光源的目标参数。使用Zemax分别设计了环形光源系统中的三个子系统,并保证各部分光学系统之间良好衔接。其中:环形透镜由一个非球面透镜旋转而成;双远心镜头可以使环形光源直径缩小到合理范围,并确保最后环形光源上每个离轴点的出射光束都与光轴平行。最终设计出环半径为0.38 mm、厚度为12.5μm的环形光源,在准直透镜焦距为900 mm、干涉腔长为100 mm的情况下,干涉条纹可见度的理论值大于0.98。

关 键 词：测量  干涉量度分析法  环形光源  相干噪声 环形透镜  双远心镜头  

分 类 号：O436.1]