文献类型：期刊文章

作　　者：韩路路[1,2,3,4] 吴倩楠[1,3,4,5] 王姗姗[1,2,3,4] 范丽娜[1,3,4,6] 李孟委[1,2,3,4]

HAN Lulu;WU Qiannan;WANG Shanshan;FAN Lina;LI Mengwei(Nantong Institute of Intelligent Opto-Mechatronics,North Univ.of China,Nantong,Jiangsu 226000,P.R.China;School of Instrum.and Elec.,North Univ.of China,Taiyuan 030010,P.R.China;Academy for Advanced Interdisciplinary Res.,North Univ.of China,Taisyuan 030051,P.R.China;Center for Microsystem Intergration,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;School of Science,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;School of Inform.and Commun.Engineer,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China)

机构地区：[1]中北大学南通智能光机电研究院,江苏南通226000 [2]中北大学仪器与电子学院,太原030051 [3]中北大学前沿交叉科学研究院,太原030051 [4]中北大学微系统集成研究中心,太原030051 [5]中北大学理学院,太原030051 [6]中北大学信息与通信工程学院,太原030051

出　　处：《微电子学》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61705200);新品项目(2018NW0026);中北大学青年学术带头人资助项目(QX201905);双百工艺攻关资助项目(JCKY2018408B006)。

年　　份：2021

卷　　号：51

期　　号：1

起止页码：106-111

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、IC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了有效解决信号/频谱分析仪等微波测试仪器尺寸较大、信号损耗高、选通切换效率差等问题,将射频MEMS开关引入交指型可切换滤波器结构中。通过MEMS四掷开关选择具有不同中心频率的交指型谐振器,实现在6~14 GHz内四个频率的射频信号切换过滤。利用HFSS电磁波仿真软件对滤波结构的几何参数进行优化计算,得到四个可切换频率的插入损耗,分别为1.26 dB@6.86 GHz、1.03 dB@9.16 GHz、1.23dB@11.78 GHz、1.07 dB@12.26 GHz,整体面积约为7.95 mm^(3)。与其他可切换滤波器相比,该可切换滤波器将MEMS四掷开关与交指型谐振器集成到一起,具有低插损、小尺寸、高集成度等优点。

关 键 词：微机电系统开关  可切换滤波器  交指型谐振器  带通滤波器

分 类 号：TN713.5]