文献类型：期刊文章

作　　者：马志斌[1,2]

MA Zhibin

机构地区：[1]武汉工程大学材料科学与工程学院,等离子体化学与新材料湖北省重点实验室,武汉430073 [2]黄冈师范学院化学化工学院,湖北黄冈438000

出　　处：《金刚石与磨料磨具工程》

年　　份：2021

卷　　号：41

期　　号：1

起止页码：1-4

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、IC、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：武汉工程大学等离子体化学与新材料湖北省重点实验室长期致力于等离子体技术与CVD金刚石方面的研究。2001年至今,围绕高质量、大尺寸多晶和单晶金刚石制备的需要,开展微波等离子体技术与先进微波等离子体化学沉积装备的研究工作,开发出系列等离子体源和微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备,在MPCVD制备高质量、英寸级金刚石及高端CVD金刚石应用等方面取得重要进展,具体包括开发出具有双基片台结构的MPCVD反应腔,75 kW级915 MHz MPCVD装备,大尺寸单晶金刚石的二维扩大生长技术和纳米金刚石真空窗口的制备技术。团队成员主持完成了多项国家、省市级科研项目,包括国家自然科学基金、国家重大研究计划培育项目、湖北省自然科学基金、武汉市科技局晨光计划及若干横向项目等。等离子体化学与新材料湖北省重点实验室主要成员获得国家技术发明二等奖1项,湖北省科技进步二等奖1项。

关 键 词：等离子体化学 单晶金刚石 微波等离子体 重大研究计划  国家技术发明  等离子体技术 国家自然科学基金  等离子体源

分 类 号：TQ163]