文献类型：期刊文章

作　　者：陈祥铭[1] 杨贵钦[1] 赵海茹[1] 涂晔[1]

CHEN Xiangming;YANG Guiqin;ZHAN Hairu;TU Ye(School of Physics and Electronic Engineering,Yuxi Normal University,Yuxi,Yunnan 653100)

机构地区：[1]玉溪师范学院物理与电子工程学院,云南玉溪653100

出　　处：《玉溪师范学院学报》

年　　份：2020

卷　　号：36

期　　号：6

起止页码：57-64

语　　种：中文

收录情况：NSSD、普通刊

摘　　要：金属氧化物气体传感器在社会经济发展中具有不可代替的重要作用,是各国研究者重点关注对象之一.目前,对金属氧化物气敏性能改善的研究主要集中在化学组分优化和微观结构优化设计两个方向,并制备出了具有各种微观结构形貌的气敏性能良好的新型金属氧化物基半导体材料.但能在低温、常温工作的高性能金属氧化物气敏材料仍不能满足应用需求,这给科研工作者们带来极大的挑战和机遇.

关 键 词：金属氧化物半导体 气体传感器 传感器 性能研究

分 类 号：TP212.2]