文献类型：期刊文章

作　　者：赵正平[1,2]

Zhao Zhengping(China Electronics Technology Co.,Ltd.,Beijing 100846,China;Science and Technology on ASIC Laboratory,Shijiazhuang 050051,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团有限公司,北京100846 [2]专用集成电路重点实验室,石家庄050051

出　　处：《半导体技术》

年　　份：2021

卷　　号：46

期　　号：1

起止页码：1-14

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以SiC/GaN为代表的第三代半导体功率电子学已成为当今功率电子学创新发展的主流,超宽禁带半导体金刚石功率电子学将有可能成为下一代固态功率电子学的代表,受到研究人员的广泛关注。介绍了金刚石功率电子学的最新进展,如金刚石单晶、金刚石化学气相沉积同质和异质单晶外延、金刚石多晶外延、金刚石二极管、金刚石MOSFET、金刚石结型场效应晶体管、金刚石双极结型晶体管、金刚石逻辑电路、金刚石射频场效应晶体管和金刚石上GaN HEMT等。还介绍了金刚石材料的大尺寸、低缺陷和p型及n型掺杂等制备技术,金刚石新器件结构设计,金刚石新器件工艺,转移掺杂H端-金刚石沟道和金刚石/GaN界面热阻等研究成果。分析了金刚石功率电子学的发展由来、关键技术突破和发展态势。

关 键 词：金刚石 单晶  多晶  金刚石二极管  金刚石场效应晶体管(FET)  射频(RF)FET  金刚石上GaN HEMT  功率电子学

分 类 号：TN301] O471]