文献类型：期刊文章

作　　者：韩文曼[1] 郭涛[1]

HAN Wenman;GUO Tao(Micron Nanotechnology Research Center of North University of China,Taiyuan 030051,China)

机构地区：[1]中北大学微米纳米技术研究中心,山西太原030051

出　　处：《传感器与微系统》

基　　金：2018年度国防科技重点实验室基金资助项目(JZX7Y201901SY005410)。

年　　份：2021

卷　　号：40

期　　号：1

起止页码：20-22

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CSCD、CSCD_E2021_2022、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：在传统双边四梁结构的基础上,优化设计了一种高量程加速度传感器结构,量程为10000 g n。理论上对其进行了应力分析,验证了结构的合理性,并通过有限元建模对传感器进行了静态结构分析,模态分析和抗过载能力分析。在恒压源供电条件下,传感器的固有频率大于50 kHz,灵敏度理论值为18.88μV/g n,抗过载能力为20000 g n。与传统结构相比,极大地提高了高量程加速度传感器的性能。

关 键 词：加速度传感器 高量程  有限元分析 固有频率 灵敏度 抗过载能力  

分 类 号：TP212]