文献类型：期刊文章

作　　者：苏旭良[1] 王灿[1] 应磊莹[1] 徐欢[1] 许荣彬[1] 梅洋[1] 郑志威[1] 龙浩[1] 张保平[1]

SU Xu-liang;WANG Can;YING Lei-ying;XU Huan;XU Rong-bin;MEI Yang;ZHENG Zhi-wei;LONG Hao;ZHANG Bao-ping(Department of Electronic Engineering,Xiamen University,Xiamen,Fujian 361005,China)

机构地区：[1]厦门大学电子科学与技术学院电子工程系,福建厦门361005

出　　处：《光子学报》

基　　金：国家重点研发计划(Nos.2016YFB0400803,2017YFE0131500),科学挑战专题(No.TZ2016003)。

年　　份：2020

卷　　号：49

期　　号：12

起止页码：27-33

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了解决感应耦合等离子体刻蚀和衬底切割对发光二极管芯片造成损伤的问题,提高器件的成品率,提出了一种新的制备氮化镓基垂直结构发光二极管的工艺方法,成功制备出了无需衬底切割的自分裂垂直结构发光二极管.制备过程中使用化学机械抛光来代替感应耦合等离子体刻蚀对n型氮化镓进行减薄,避免了感应耦合等离子体刻蚀对器件侧壁和有源区造成的损伤;通过临时衬底转移技术解决了衬底切割的问题,无需衬底切割即可得到单个发光二极管芯片.与传统结构正装发光二极管相比,300μm×300μm的自分裂垂直结构发光二极管的电学特性得到大幅度改善,电流为20 mA下的正向电压从3.17 V降到2.88 V,降低了9%;饱和电流从240 mA提高到280 mA,提高了17%.研究了电极形状对器件性能的影响,将电极形状由圆盘形改为环形,500μm×500μm的自分裂垂直结构发光二极管的饱和电流从450 mA提高到490 mA,提高了9%,通过优化电极结构有望进一步改善芯片性能.

关 键 词：氮化镓 自分裂  垂直结构发光二极管  衬底切割  环形电极

分 类 号：TN312.8]