文献类型：期刊文章

作　　者：吴立宇[1] 李小强[1] 王斌[1,2] 屈盛官[1]

WU Li-yu;LI Xiao-qiang;WANG Bin;QU Sheng-guan(National Engineering Research Center of Near-Net-Shape Forming for Metallic Materials,South China University of Technology,Guangzhou 510640,China;Associate Laboratory of National Research Centre 8182,University of Paris-Saclay,Orsay 91405,France)

机构地区：[1]华南理工大学国家金属材料近净成形工程技术研究中心,广州510640 [2]巴黎萨克雷大学国家科研中心联合实验室8182,法国奥赛91405

出　　处：《材料工程》

基　　金：GF基础科研计划项目(JCKY2017210B028)。

年　　份：2020

卷　　号：48

期　　号：12

起止页码：75-81

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、DOAJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于多层光学薄膜的基本原理及算法,采用等离子体增强化学气相沉积方法在GaAs衬底上制备SiO2/Si3N4双层减反射膜,通过原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、椭圆偏振仪、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱分析(XPS)、紫外-可见分光光度计对薄膜的形貌、结构及光学性能进行表征,研究不同退火温度对薄膜性能的影响。结果表明:退火前后薄膜均为结晶态;随着退火温度升高,薄膜反射率及粗糙度逐渐降低,700℃时薄膜平均反射率及粗糙度最低,分别为12.65%和1.64 nm;退火后光谱曲线往短波方向移动了30 nm,呈现典型的“蓝移”现象,表明退火后薄膜光学厚度逐渐降低。

关 键 词：减反射膜 GaAs基太阳能电池  等离子体增强化学气相沉积 退火

分 类 号：O484.4]