文献类型：期刊文章

作　　者：马剑钢[1] 林东[1] 李鹏[1] 杨国春[1] 刘益春[1]

Jiangang Ma;Dong Lin;Peng Li;Guochun Yang;Yichun Liu(Key Laboratory of Ultraviolet Emission Materials and Technology of Ministry of Education,School of Physics,Northeast Normal University,Changchun 130024,China)

机构地区：[1]东北师范大学物理学院,紫外光发射材料与技术教育部重点实验室,长春130024

出　　处：《科学通报》

基　　金：国家重点基础研究发展计划(2012CB933703);国家自然科学基金重大研究计划(91233204)资助。

年　　份：2020

卷　　号：65

期　　号：25

起止页码：2678-2690

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、MR、RCCSE、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：ZnO基透明导电薄膜具有成本低、环境友好、抗辐射能力强、对H等离子体耐受性好等优点,是金属氧化物半导体研究领域的一个极为重要的方向.目前,无论阳离子还是阴离子单独掺杂的ZnO透明导电薄膜在电导率、可见光透过率和热稳定性等方面依然不能完全满足光电器件的要求,为此人们开展了阴阳离子共掺杂ZnO薄膜光电性质的研究工作,取得了良好的效果.本文从理论和实验研究两方面,总结了阴阳离子共掺杂ZnO透明导电薄膜的最新研究成果,系统阐述了阴阳离子对ZnO薄膜的光学、电学和热稳定性的影响规律,分析了阴阳离子共掺杂ZnO研究所面临的问题和挑战,为相关领域的研究和发展提供借鉴和参考.

关 键 词：透明导电薄膜 氧化锌 阴阳离子共掺杂  缺陷  热稳定性

分 类 号：TB383.2[材料类]