文献类型：期刊文章

作　　者：张敏刚[1] 胡君杰[1] 熊可[1] 潘义[2] 王少楠[3] 范挺[4] 周理[5,6] 谷雨[1] 周玉龙[1] 许向东[1]

ZHANG Mingang;HU Junjie;XIONG Ke;PAN Yi;WANG Shaonan;FAN Ting;ZHOU Li;GU Yu;ZHOU Yulong;XU Xiangdong(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,School of Photoelectric Science and Engineering,University of Electronic Science and Technology of China(UESTC),Chengdu 610054,China;National Institute of Measurement and Testing Technology,Chengdu 610021,China;Southwest Research and Design Institute of Chemical Industry Co.,Ltd.,Chengdu 610225,China;Chengdu Institute of Organic Chemistry,Chinese Academy of Sciences,Chengdu 610041,China;Research Institute of Natural Gas Technology of PetroChina Southwest Oil and Gasfield Company,Chengdu 610213,China;Key Laboratory of Natural Gas Quality Control and Energy Measurement,CNPC,Chengdu 610213,China)

机构地区：[1]电子科技大学光电科学与工程学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054 [2]中国测试技术研究院,四川成都610021 [3]西南化工研究设计院有限公司,四川成都610225 [4]中国科学院成都有机化学研究所,四川成都610041 [5]中国石油西南油气田分公司天然气研究院,四川成都610213 [6]中国石油天然气质量控制和能量计量重点实验室,四川成都610213

出　　处：《中国测试》

基　　金：国家自然科学基金项目(61377063,61421002);四川省科技重大专项(2018TZDZX0008)。

年　　份：2020

卷　　号：46

期　　号：8

起止页码：1-8

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、IC、JST、RCCSE、UPD、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：热导检测器是气相色谱仪的关键部件,主要用于气体成分和浓度的检测。与传统热导检测器相比较,微型热导检测器(μTCD)具有质量轻、体积小、灵敏度高等优点,能够集成到便携式气相色谱仪中,符合当前气相色谱仪微型化的发展趋势。该文系统概括μTCD的研究理论,从优化μTCD性能的角度,详细比较4种典型的μTCD的结构及其制备方法,并且基于μTCD热导池的封装技术,对其发展趋势进行展望。分析结果表明,当μTCD的热导池热丝支撑梁采用Si/SiNx复合结构时,输出信号可靠,检测灵敏度高。另外,与静电键合技术相比较,新型低温封装技术能够在室温条件下进行,更有利于检测到稳定的输出信号。

关 键 词：微型热导检测器  热导池  灵敏度 综述  

分 类 号：TH833[仪器类]