文献类型：期刊文章

作　　者：邓文宇[1] 齐丽君[1] 王光玉[2] 孔祥玲[2] 毕德龙[2] 李明[3] 安跃军[3]

DENG Wenyu;QI Lijun;WANG Guangyu;KONG Xiangling;BI Delong;LI Ming;AN Yuejun(Technical Center of Shenyang General Magnetic Co.,Ltd.,Shenyang 110159,China;Vacuum Dry Pump Business Division,SKY Technology Development Co.,Ltd.,Chinese Academy of Sciences,Shenyang 110168,China;School of Electrical Engineering,Shenyang University of Technology,Shenyang 110870,China)

机构地区：[1]沈阳中北通磁科技股份有限公司技术中心,辽宁沈阳110159 [2]中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司真空干泵事业部,辽宁沈阳110168 [3]沈阳工业大学电气工程学院,辽宁沈阳110870

出　　处：《电机与控制应用》

基　　金：国家科技重大专项项目(2017ZX02201005-002);辽宁省重大科技专项项目(2019JH1/10100016)。

年　　份：2020

卷　　号：47

期　　号：7

起止页码：1-8

语　　种：中文

收录情况：UPD、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：真空泵作为真空获得的重要设备,在电子芯片、大规模集成电路、精细化工、生物制药、光伏产业等领域受到了广泛关注及应用,其性能指标很大程度取决于驱动电机及其控制技术。介绍了真空泵驱动电机的基本种类与工作原理,总结了共性规律和个性特点,对其拓扑结构、冷却方式和智能控制等关键技术进行综述,分析了真空泵驱动电机在特殊工况条件下的控制策略问题。最后,对真空泵驱动电机及其控制系统的主要研究方向进行了展望。

关 键 词：特种电机 高端装备 真空泵 电驱系统  控制系统

分 类 号：TM358]