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期刊文章详细信息

一种基于混合滤波窗口的复合光栅相位测量轮廓术  ( EI收录)  

A Composite Grating Phase-Measuring Profilometry Based on Mixed Filtering Window

  

文献类型:期刊文章

作  者:安海华[1] 曹益平[1] 李红梅[1,2] 吴海涛[1]

An Haihua;Cao Yiping;Li Hongmei;Wu Haitao(Department of Opto-Electronics,Sichuan University,Chengdu,Sichuan 610064,China;College of Physics and Engineering,Chengdu Normal University,Chengdu,Sichuan 611130,China)

机构地区:[1]四川大学光电科学技术系,四川成都610064 [2]成都师范学院物理与工程技术学院,四川成都611130

出  处:《中国激光》

基  金:国家重大专项(2009ZX02204-008)。

年  份:2020

卷  号:47

期  号:6

起止页码:219-227

语  种:中文

收录情况:AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘  要:采用复合光栅相位测量轮廓术进行三维测量时,从变形复合条纹中能有效地解调出相移变形条纹,此时滤波窗口的选择至关重要。通过分析噪声特征及其对频谱成分不同取向影响的差异性,寻找空间频谱在两个正交方向上的最佳滤波窗口,建立了一种提高测量精度的混合滤波窗口。数字模拟表明,所设计的混合窗口对噪声的抑制均优于矩形、三角形、布莱克曼和汉宁等滤波窗。已知高度平面的测量结果表明,采用均衡噪声和频谱泄漏的混合窗口的重构误差最小,其误差均方根比汉宁滤波窗口减小了9.64%,测量精度得到有效改善。实物测量实验验证了所提方法的可行性和有效性。

关 键 词:测量  复合光栅相位测量轮廓术  复合光栅  滤波 噪声分析 混合窗口  

分 类 号:TN247]

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同被引文献:

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