文献类型：期刊文章

作　　者：史志勇[1] 周立强[1] 张立春[1] 李志刚[1] 史强[1,2] 朱林伟[1]

Shi Zhiyong;Zhou Liqiang;Zhang Lichun;Li Zhigang;Shi Qiang;Zhu Linwei(School of Physics and Optoelectronics Engineering,Ludong University,Yantai,Shandong 264025,China;Beijing Magie Nano-Technology Co.Ltd.,Beijing 102208,China)

机构地区：[1]鲁东大学物理与光电工程学院,山东烟台264025 [2]北京魔技纳米科技有限公司,北京102208

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家自然科学基金(61675093);山东省重点研发计划(重大科技创新工程)(2019JZZY020219)。

年　　份：2020

卷　　号：40

期　　号：10

起止页码：107-116

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了提高激光并行加工中多焦点阵列的均匀度及可操控性,基于物镜聚焦系统的矢量傅里叶变换特性,设计了一种矢量迭代优化相位算法。基于此算法,可以制备具有高均匀度的多焦点阵列,且阵列中每个焦点的空间位置可精确调控。数值模拟与实验结果表明,优化出的相位可以用来制备具有高均匀度的多焦点阵列。利用自主搭建的基于空间光调制器的飞秒激光加工系统,以金膜为例,验证了激光并行加工的可行性。实验结果表明,利用所提算法,可以实现具有任意排列结构的多焦点阵列的并行激光加工。利用动态加载相位图的方式,可以实现动态扫描加工。

关 键 词：激光技术 激光并行加工  光束整形 空间光调制器 计算全息

分 类 号：O436]