文献类型：期刊文章

作　　者：赵增超[1] 李明[1] 周小荣[1] 郭艳[1] 黄嘉斌[1]

Zhao Zengchao;Li Ming;Zhou Xiaorong;Guo Yan;Huang Jiabin(Hunan Red Solar Photoelectricity Science and Technology Co.,Ltd.,Changsha 410013,China)

机构地区：[1]湖南红太阳光电科技有限公司,长沙410013

出　　处：《太阳能》

基　　金：湖南省创新型省份建设专项——湖南省晶体硅太阳能电池工程技术研究中心(2019TP2048)。

年　　份：2020

期　　号：6

起止页码：55-59

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：对低频PECVD设备沉积的应用于PERC太阳电池上的AlOx/SiNx钝化膜的性能进行了研究。通过少子寿命测试发现,低频PECVD设备直接沉积的AlOx/SiNx钝化膜的钝化性能较弱,载流子复合严重;利用傅里叶红外光谱(FTIR)对造成该现象的原因进行了分析,结果发现,一是因为Si-AlOx界面无足够的氧化层,二是因为AlOx膜层内的Al-O四面体结构占比偏小。通过在低频PECVD设备沉积AlOx膜后通入N2O/NH3气体进行等离子体表面处理工艺,抑制了表面的载流子复合,显著改善了AlOx/SiNx钝化膜的钝化性能,使小批量生产的PERC太阳电池的平均转换效率达到了22.48%。

关 键 词：低频PECVD设备  氧化铝  少子寿命 等离子体表面处理  钝化 太阳电池

分 类 号：O472.8]