文献类型：期刊文章

作　　者：冯方[1] 田爱玲[1] 刘丙才[1] 冯丹青[1] 陈晨[1] 刘卫国[1]

Feng Fang;Tian Ailing;Liu Bingcai;Feng Danqing;Chen Chen;Liu Weiguo(Shaanxi Province Key Laboratory of Membrane Technology and Optical Test,School of Optoelectronic Engineering,Xi′an Technological University,Xi'an,Shaanxi 710021,China)

机构地区：[1]西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710021

出　　处：《中国激光》

基　　金：国防基础科研计划(JCKY2018426C002);陕西省教育厅重点实验室项目(17JS048)。

年　　份：2020

卷　　号：47

期　　号：4

起止页码：253-260

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为实现光学元件表面疵病的三维全场测量,提出了一种数字全息显微扫描成像的检测方法。该方法基于数字全息角谱数值重建算法,获得光学元件表面划痕的相位分布,通过扫描拼接实现划痕的全场测量;然后,在数字全息显微实验装置的基础上增加二维精密扫描部件,对于宽50μm、深50 nm标准划痕,测得其宽度为49.2μm、深度为48.9 nm,同时拼接获得该划痕的全场三维形貌。实验表明:该检测方法可实现大视场划痕缺陷的全场三维测试,其宽度和深度测量的相对误差分别为1.6%和2.2%。

关 键 词：全息 划痕检测  数字全息 扫描拼接  全场测试  

分 类 号：O438.1]