文献类型：期刊文章

作　　者：刘丰[1,2] 张帆[1,2] 边浩[1,2] 杨青[1,3] 李敏静[1,3] 陈烽[1,2]

Liu Feng;Zhang Fan;BianHao;Yang Qing;Li Minjing;Chen Feng(State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering,Xi'an Jiaotong University,Xi'an,Shaanxi 710049,China;Shaanxi Key Laboratory of Photonics Technology for Information,School of Electronics&Information Engineering,Xi'an Jiaotong University,Xi'an,Shaanxi 710049,China;School of Mechanical Engineering,Xi'an Jiaotong University,Xi'an,Shaanxi 710049,China)

机构地区：[1]西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安710049 [2]西安交通大学电子与信息工程学院陕西省信息光子技术重点实验室,陕西西安710049 [3]西安交通大学机械工程学院,陕西西安710049

出　　处：《激光与光电子学进展》

基　　金：国家自然科学基金(61875158);国家重点研发计划(2017YFB1104700);中国博士后科学基金(2018M633499);中央高校基本科研业务费。

年　　份：2020

卷　　号：57

期　　号：7

起止页码：90-105

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSCD、CSCD2019_2020、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：光学器件的小型化、集成化是现代光学系统发展的重要趋势。在微小光学器件中,阵列化折射成像微光学器件主要包括微透镜阵列器件等,广泛应用于成像、计量、波束整形等领域。针对红外波段成像、计量测量、激光加工等领域的特殊应用需求,红外波段工作的微透镜阵列器件受到了广泛重视,并得到迅速发展。总结了红外微透镜阵列器件的发展及制备方法,包括使用不同材料、不同制造方法制备红外微光学器件,以及红外微透镜阵列器件在红外波段成像、计量、并行加工、光束匀化方面的应用,分析了红外微透镜阵列器件及其制造方法存在的挑战与机遇。

关 键 词：红外波段 微透镜 微透镜阵列 红外成像

分 类 号：O436]