文献类型：期刊文章

作　　者：王福斌[1] 孙海洋[1] 王宜文[1] 李李漫丝[2]

WANG Fu-bin;SUN Hai-yang;WANG Yi-wen;LI Li-mansi(School of Electrical Engineering,North China University of Science and Technology,Tangshan 063210,China;School of Information Engineering,North China University of Science and Technology,Tangshan 063210,China)

机构地区：[1]华北理工大学电气工程学院,河北唐山063210 [2]华北理工大学信息工程学院,河北唐山063210

出　　处：《激光与红外》

年　　份：2020

卷　　号：50

期　　号：5

起止页码：630-633

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：飞秒激光烧蚀单晶硅材料过程中会伴随衍生等离子体发光,由CCD相机采集等离子体的光辐射信号可获得激光烧蚀光斑图像。针对光斑图像核心烧蚀区域易受光晕、烧蚀热过渡区域等因素影响问题,提出了烧蚀光斑图像的双边滤波增强结合模糊C均值聚类(FCM)分割策略,将光斑不同区域分割出来。首先,采用主成分分析(PCA)方法对光斑图像进行主成分提取,增强图像并去除噪声影响。其次,在PCA提取的第一主成分图像基础上,用双边滤波对光斑图像进一步增强处理,突出了光斑核心目标区域的层次。最后,采用模糊C-均值聚类(FCM)将光斑图像的各个区域精确的分割出来。通过与Canny算子结合高斯滤波的光斑图像分割效果对比表明,本文提出的光斑图像分割方法,对光斑核心区域、光斑细节及光斑层次分割方面具有优势。

关 键 词：飞秒激光 等离子体光斑  图像增强  双边滤波FCM算法  

分 类 号：TP249] TP391.41]