文献类型：期刊文章

作　　者：王秋[1] 刘骅锋[1] 许强伟[1] 宋萧萧[1] 严世涛[1] 涂良成[1]

WANG Qiu;LIU Huafeng;XU Qiangwei;SONG Xiaoxiao;YAN Shitao;TU Liangcheng(Key Laboratory of Gravity Navigation,Ministry of Education,Center for gravitational experiment,School of Physics,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China)

机构地区：[1]华中科技大学物理学院引力中心,重力导航教育部重点实验室,武汉430074

出　　处：《中国惯性技术学报》

基　　金：国家重点研发计划(2018YFC0603301,2017YFC061603);湖北省自然科学基金(2019CFB108);装发预研领域基金重点项目(61405170105);中国航天科技集团创新基金重点项目(CAST-BISEE2017-019);国家自然科学基金(61306095,61574067);华中科技大学重点创新团队基金(2016JCTD102)。

年　　份：2020

卷　　号：28

期　　号：1

起止页码：100-105

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用微纳加工工艺制备了硅基微机电(MEMS)超高灵敏度加速度计,并针对超高灵敏度MEMS加速度计进行了结构设计及仿真。通过独特自主的体硅一体化刻穿工艺加工出MEMS加速度计敏感结构,测得MEMS加速度计噪声谱密度在1 Hz处为0.3 ng/Hz1/2,46 h偏值稳定性为740 ng,量程1 mg,带宽10 Hz,抗随机振动可达8 g(RMS),抗冲击过载1000 g。相比于传统的高精度加速度计,本文提出的基于微纳加工工艺的硅基超高灵敏度MEMS加速度计体积小、重量轻、环境适应性强,具有可批量化生产和成本低的优势,有望用于对灵敏度有较高要求的微震测量、微重力环境应用、空间探测等领域。

关 键 词：超高灵敏度加速度计  微机电系统 稳定性 噪声评估  环境适应性

分 类 号：V448.22]