文献类型：期刊文章

作　　者：张一[1] 余卿[1] 张昆[1] 程方[1] 崔长彩[2]

ZHANG Yi;YU Qing;ZHANG Kun;CHENG Fang;CUI Chang-cai(College of Mechanical Engineering and Automation, Huaqiao University, Xiamen 361021, China;Institute of Manufacturing Technology, Huaqiao University, Xiamen 361021, China)

机构地区：[1]华侨大学机电及自动化学院,福建厦门361021 [2]华侨大学制造工程研究院,福建厦门361021

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.51505162);福建省科技计划项目(No.2019I0013);泉州市科技计划项目(No.2017T004);华侨大学研究生科研创新基金资助项目(No.18013080064)。

年　　份：2020

卷　　号：28

期　　号：4

起止页码：859-866

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：彩色共聚焦技术因其高分辨率、高测速的特点,在表面形貌测量领域备受关注,然而现有的彩色共聚焦技术多为单点测量,一定程度上限制了测量效率。本文在彩色共聚焦技术的基础上,以DMD作为光分束器件,结合自主研发的大口径色散管镜,利用面阵彩色相机作为光电接收器件,研究和建立了基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦实验平台,实现了对被测物面上多个探测点的并行图像处理。最终,利用所搭建的并行彩色共聚焦测量系统,对50μm高的台阶和自制台阶进行了测量,并对硬币的表面形貌进行了三维恢复。实验结果表明,该测量系统的轴向测量范围为300μm,测量精度达到微米级;同时,能够较好地恢复硬币的表面形貌特征,具有较好的测量效率与可靠性。

关 键 词：光学测量 彩色共聚焦技术  数字微镜器件 彩色相机  表面形貌三维重构  

分 类 号：TH742]