文献类型：期刊文章

作　　者：虞沛芾[1] 李伟[1]

YU Peifu;LI Wei(School of Materials Science and Engineering,University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093,China)

机构地区：[1]上海理工大学材料科学与工程学院,上海200093

出　　处：《有色金属材料与工程》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51471110)。

年　　份：2020

卷　　号：41

期　　号：2

起止页码：47-54

语　　种：中文

收录情况：CAS、RCCSE、普通刊

摘　　要：物联网产业的发展使传感器的研究得到越来越多的重视。薄膜压力传感器作为传感器的一个重要分支,因其优异的性能得到广泛的使用。简要地介绍了薄膜压力传感器的组成及原理,详细介绍了不同种类材料制成薄膜压力传感器的特点,重点突出了不同合金材料、半导体材料制成的传感器之间性能的差异,并为电阻层材料的选取提供参考意见。通过总结薄膜的制备方法,来阐述在薄膜压力传感器中薄膜的制备技术,总结近年在薄膜制备技术上进行的研究,最后基于近年纳米材料、微电子机械系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术、微波技术等技术的发展,结合薄膜压力传感器的研究现状,对其未来的发展进行展望。

关 键 词：薄膜压力传感器 磁控溅射 制备技术  研究进展  

分 类 号：S951.4]