文献类型：期刊文章

作　　者：李晓阳[1] 王伟魁[1] 汪守利[1] 彭泳卿[1] 金小锋[1]

LI Xiaoyang;WANG Weikui;WANG Shouli;PENG Yongqing;JIN Xiaofeng(Beijing Research Institute of Telemetry,Beijing 100076,China)

机构地区：[1]北京遥测技术研究所,北京100076

出　　处：《遥测遥控》

基　　金：国防预研基金。

年　　份：2019

卷　　号：40

期　　号：6

起止页码：1-13

语　　种：中文

收录情况：ZGKJHX、普通刊

摘　　要：基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的惯性传感器具有重量轻、成本低、体积小等优点,在民用、航天及军事领域有着极其广阔的应用和发展前景。伴随着MEMS技术的快速发展,MEMS惯性传感器各项性能指标也得到了显著提升。对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性测量单元(IMU)的基本工作原理、分类及研究现状进行梳理,并对其发展趋势进行了分析与展望。

关 键 词：MEMS技术 陀螺仪 加速度计 惯性测量单元

分 类 号：U666.1]