文献类型：期刊文章

作　　者：杨伸勇[1] 张丛春[1] 杨卓青[1] 李红芳[1] 姚锦元[1] 黄漫国[2] 汪红[1] 丁桂甫[1]

YANG Shen-yong;ZHANG Cong-chun;YANG Zhuo-qing;LI Hong-fang;YAO Jin-yuan;HUANG Man-guo;WANG Hong;DING Gui-fu(National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China;AVIC Beijing Changcheng Aeronautical Measurement and Control Technology Research Institute,Beijing 101111,China)

机构地区：[1]上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240 [2]中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所,北京101111

出　　处：《材料工程》

基　　金：上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台项目(17DZ2291400)。

年　　份：2020

卷　　号：48

期　　号：4

起止页码：145-150

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2019_2020、DOAJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中热处理ITO薄膜。结果表明,其电阻温度系数稳定在-750×10-6℃-1,在1200℃下测试其应变特性,测得电阻漂移率为0.0018 h-1,应变因子为16。ITO薄膜在高温下具有稳定的电阻温度系数和低漂移率,为高温端部件应变的测量提供了可能。

关 键 词：ITO薄膜应变计  热处理  高温应变测量  电阻温度系数

分 类 号：V241.7] TN389]