文献类型：期刊文章

作　　者：黄漫国[1,2] 邹兴[3] 郭占社[3] 刘德峰[1,2] 李欣[1,2]

HUANG Man-guo;ZOU Xing;GUO Zhan-she;LIU De-feng;LI Xin(AV IC Beijing Changcheng Aeronsutie Measurement and Control Technology Research Instiute,Beijing 101111,Ching;Key Labornatory of Sciene and Technology on Special Condition Monitoring Semsor Technology,Beijing 10111,China;School of Instrument Science and Opto-Electronics Enginee ring,Beihang University,Beijing 100191,China)

机构地区：[1]航空工业北京长城航空测控技术研究所,北京101111 [2]状态监测特种传感技术航空科技重点实验室,北京101111 [3]北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京100191

出　　处：《测控技术》

年　　份：2020

卷　　号：39

期　　号：4

起止页码：1-5

语　　种：中文

收录情况：JST、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：高温环境下大量程压力测量技术在工业、航空航天、石油勘探等领域具有广阔的应用前景。高温大压力传感器是目前研究的热点。对目前几种常用的高温大压力传感器包括多晶硅高温压力传感器、单晶硅(SOI)压力传感器、硅-蓝宝石(SOS)高温压力传感器、Si C高温压力传感器、光纤高温压力传感器的工作原理、国内外研究现状以及应用特点进行了阐述。最后,对高温大压力传感技术未来的发展趋势进行了展望。

关 键 词：高温大压力传感器  单晶硅 多晶硅 硅-蓝宝石  碳化硅 光纤  

分 类 号：TP212]