文献类型：期刊文章

作　　者：牛学坤[1] 杨茂良[2] 周宪峰[1]

Niu Xuekun;Yang Maoliang;Zhou Xianfeng(Liming Research&Design Institute of Chemical Industry Co.,Ltd.,Luoyang 471000,China;China Haohua Chemical Group Co.,Ltd.,Beijing 100101,China)

机构地区：[1]黎明化工研究设计院有限责任公司,河南洛阳471000 [2]中国昊华化工集团股份有限公司,北京100101

出　　处：《化学推进剂与高分子材料》

年　　份：2020

卷　　号：18

期　　号：2

起止页码：1-4

语　　种：中文

收录情况：CAS、普通刊

摘　　要：介绍了三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、电子级六氟化硫等几种含氟电子气体在半导体、平板显示等领域的应用。对相关行业发展的现状和前景进行了分析和预测,讨论了行业发展的潜在风险。

关 键 词：含氟电子气体  三氟化氮 六氟化钨 四氟化碳 电子级六氟化硫  

分 类 号：TQ117]