文献类型：期刊文章

作　　者：卢希钊[1,2,3] 江开勇[1,3]

LU XiZhao;JIANG KaiYong(College of Mechanical Engineering and Automation,Huaqiao University,Xiamen 361021,China;Department of Electronic Science,Xiamen University,Xiamen 361005,China;Fujian Key Laboratory of Special Energy Manufacturing,Huaqiao University,Xiamen 361021,China)

机构地区：[1]华侨大学机电及自动化学院,厦门361021 [2]厦门大学电子科学与技术学院,厦门361005 [3]华侨大学福建省特种能场制造重点实验室,厦门361021

出　　处：《中国科学：物理学、力学、天文学》

基　　金：国家自然科学基金(编号:51575198);福建省重点实验室开放基金(编号:2016JZA002)资助项目

年　　份：2020

卷　　号：50

期　　号：3

起止页码：26-39

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSCD、CSCD2019_2020、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：微射流水导激光加工属于一种多能场复合激光加工技术.该技术利用加工激光耦合稳定压力微射流,改变激光能量分布为平顶高斯光束,并对加工断面进行冷却、冲刷.稳定的小流量压力去离子水射流导引激光柔性延伸加工焦点,改善加工激光能量分布的同时实现去屑、冷却,使得其轴向加工质量、精度得到提高,并提高激光轴向加工能力.本文介绍并阐述了该加工装置及设备研发的若干关键因素:激光全反射入射角度的选择、光束质量、模式、聚焦位置及激光与水射流的耦合精度.对比了该技术与超短脉冲激光(飞秒激光)的加工特点.阐述了微射流水导激光适当控制激光加工热量,控制激光加工方向,适用于高质量大深径比(约10-100)的深孔、槽、缝的场合以及一些低k绝缘材质,硬质合金、SiC、GaAs、聚晶金刚石等材质的高附加值对象场合.

关 键 词：微射流水导激光加工  耦合  全反射传输  加工质量  

分 类 号：TN249]