文献类型：期刊文章

作　　者：李芬[1] 石树正[1,2] 杨翔宇[1] 何剑[1]

LI Fen;SHI Shuzheng;YANG Xiangyu;HE Jian(Key Laboratory of Science and Technology on Electronic Test and Measurement,Ministry of Education,North University of China,Taiyuan 030051,China;School of Mechanical Engineering,Hebei University of Architecture,Zhangjiakou 075000,China)

机构地区：[1]中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051 [2]河北建筑工程学院机械工程学院,河北张家口075000

出　　处：《传感器与微系统》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51605449,61471326,51675493,51705476);2019年河北省自然科学基金青年科学基金资助项目(F2019404029);2019年度河北省高等学校科学研究计划资助项目(QN2019208)。

年　　份：2020

卷　　号：39

期　　号：3

起止页码：84-86

语　　种：中文

收录情况：CSCD、CSCD_E2019_2020、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：为实现水听器体积微型化,提高其固有频率并保证灵敏度,提出了一种新型无源器件,即基于压电效应的微机电系统(MEMS)一维球形矢量水听器。使用COMSOL软件进行仿真设计,确定器件关键尺寸。采用MEMS工艺加工制得器件并进行测试,结果表明:该水听器灵敏度达到-205 dB(0 dB=1 V/μPa),固有频率可达到1.6 kHz,具有良好的一维指向性。

关 键 词：微机电系统(MEMS)  压电效应 矢量水听器 灵敏度  

分 类 号：TP212] TB565.1]