文献类型：期刊文章

作　　者：陈瑜[1] 潘永强[1] 刘丙才[1] 田爱玲[1]

CHEN Yu;PAN Yongqiang;LIU Bingcai;TIAN Ailing(Shaanxi Province Key Laboratory of Membrane Technology and Optical Test,School of Optoelectronic Engineering,Xi’an Technological University,Xi’an 710021,China)

机构地区：[1]西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室

出　　处：《应用光学》

基　　金：陕西省自然科学基础研究计划(2018JM6031);陕西省教育厅重点实验室科研计划(18JS054);西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45)

年　　份：2020

卷　　号：41

期　　号：1

起止页码：163-169

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2019_2020、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了优化相位重建算法,针对波面干涉图的傅里叶频谱,分析了不同滤波窗口的分布特征和频谱响应,通过计算机仿真和实验测试,确定了FFT动态相位重建算法的最佳滤波窗口类型。其中处理仿真干涉图重建的波面与原始波面的波面峰谷值残差为0.0085λ,波面均方根值残差为0.0001λ;处理实验干涉图获得的波面与移相干涉测量法获得的波面峰谷值残差为0.0093λ,波面均方根值残差为0.0005λ。结果表明:选取Hamming窗进行滤波处理并重建的相位经拟合后得到的波面较参考波面的面形残差最小,相位重建精度优于0.01λ,可进一步应用于大口径光学元件的测量中。

关 键 词：光学元件 傅里叶变换 相位提取  移相 干涉图

分 类 号：O436.1]