文献类型：期刊文章

作　　者：王鹏[1] 杨帆[1] 王楠[1] 王明武[1] 梁应选[1]

WANG Peng;YANG Fan;WANG Nan;WANG Ming-wu;LIANG Ying-xuan(Mechanical Engineering Institute,Shaanxi University of Technology,Shanxi Key Laboratory of Industrial Automation,Hanzhong 723000,China)

机构地区：[1]陕西理工大学机械工程学院陕西省工业自动化重点实验室

出　　处：《仪表技术与传感器》

基　　金：国家自然科学基金项目(51605269);陕西理工大学人才启动项目(SLGQD1812);陕西省教育厅自然类专项项目(18JK0145)

年　　份：2020

期　　号：1

起止页码：17-22

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2019_2020、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：MEMS压阻式加速度传感器是目前最常见的测振器件之一。在某些特殊环境下,加速度信号组成较为复杂,例如机床主轴振动测试系统,可能有多方向加速度信号同时施加到传感器,这就要求设计的传感器具有较低的横向效应,即较小的横向交叉干扰,因此文中研制了一种可以从理论上消除传感器自身横向交叉干扰的MEMS压阻式加速度传感器。文中采用新型的复合八梁结构作为传感器的敏感元件模型,并利用敏感结构上的应力分布规律优化传感器的信号检测电路,从理论上消除了传感器的横向交叉干扰;通过MEMS加工技术加工了传感器的芯片结构,并进行了封装和相关性能测试实验。实验结果表明,所设计的传感器具有不超过1%的横向交叉干扰,1.798 mV/g的测量灵敏度以及14 kHz的固有频率。

关 键 词：加速度传感器 侧向效应  复合八梁  惠斯登电桥

分 类 号：TH39]