文献类型：期刊文章

作　　者：朱浩[1] 张朝阳[1] 徐坤[1] 戴学仁[1] 赵斗艳[1]

ZHU Hao;ZHANG Zhaoyang;XU Kun;DAI Xueren;ZHAO Douyan(Institute of Laser Technology,School of Mechanical Engineering,Jiangsu University,Zhenjiang 212013,China)

机构地区：[1]江苏大学机械工程学院激光技术研究所

出　　处：《电加工与模具》

基　　金：江苏省自然科学基金-青年基金项目(BK20180875);国家自然科学基金面上项目(51675242);中国博士后科学基金特别资助项目(2019T120392);中国博士后科学基金面上项目(2018M640461);江苏大学高级人才科研启动金资助项目(18JDG011)

年　　份：2020

卷　　号：0

期　　号：1

起止页码：43-46

语　　种：中文

收录情况：ZGKJHX、普通刊

摘　　要：硬脆材料微加工中常存在材料易崩裂、刀具磨损严重、加工效率低等不足,引入超短脉冲激光微加工技术,通过光-热-力效应引发材料去除,可有效克服上述加工难题。以羟基磷灰石生物陶瓷、氧化铝工程陶瓷、单晶硅三种典型硬脆材料为加工对象,探索基于皮秒激光的微加工工艺方法,尝试利用激光干切、液体辅助、化学辅助等不同手段,完成微槽、微孔等结构的高质量加工,并分析微加工表面特征形貌,评估工艺方法可行性。

关 键 词：皮秒激光 硬脆材料 微结构

分 类 号：TG665]