文献类型：期刊文章

作　　者：孙玉博[1,2] 熊玲玲[1] 张普[1] 王明培[1,2] 刘兴胜[3]

Sun Yubo;Xiong Lingling;Zhang Pu;Wang Mingpei;Liu Xingsheng(Tianjin Port Engineering Institute Co.,Ltd.of CCCC First Harbor Engineering Co.,Ltd.,Key Laboratory of Port Geotechnical Engineering,Ministry of Communication,Key Laboratory of Port Geotechnical Engineering of Tianjin,Tianjin 300222,China;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China;Focuslight Technologies Inc,Xi′an 710119,China)

机构地区：[1]中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室,陕西西安710119 [2]中国科学院大学,北京100049 [3]西安炬光科技股份有限公司,陕西西安710119

出　　处：《红外与激光工程》

基　　金：国家自然科学基金(61334010)

年　　份：2019

卷　　号：48

期　　号：12

起止页码：132-137

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了提高半导体激光器光束的均匀性,设计了非球面与微柱透镜阵列相结合的匀光系统。快轴方向利用光线追迹设计非球面匀化透镜;慢轴方向采用微柱透镜阵列对光束进行分割叠加。半导体激光器输出光束通过该匀光系统,在目标面上可以得到能量匀化的方形光斑。利用Zemax光学软件对半导体激光器单管和阵列进行匀化仿真,验证了该匀化系统应用于半导体激光器整形的可行性,得到了目标面动态范围变化对均匀度的影响程度,研究了微柱透镜阵列间距变化及快轴匀化透镜旋转对光斑均匀度的影响。单管和阵列在输出面上的光斑均匀度均大于90%,能量传输效率分别为95.4%和96.2%。该设计结果对半导体激光器光束匀化具有一定的参考价值。

关 键 词：光束匀化  半导体激光器 微透镜阵列 光学设计 激光光学

分 类 号：TN248.4]