文献类型：期刊文章

作　　者：黄美林[1,2] 任永聪[1] 梁竞鹏[1] 王晓如[1] 林雪莹[1] 鲁圣国[2]

Huang Meilin;Ren Yongcong;Liang Jingpeng;Wang Xiaoru;Lin Xueying;Lu Shengguo(Wuyi University,School of Textile Material and Engineering,Engineering Technology Research Center for Functional Fiber and Fabric of Guangdong Province,Jiangmen 529020,China;Guangdong University of Technology,School of Materials and Energy,Guangdong Provincial Key Laboratory of Functional Soft Condensed Matter,Guangdong Provincial Engineering Technology Research and,Development Center of Smart Material and Energy Conversion Devices,Guangzhou 510006,China)

机构地区：[1]五邑大学纺织材料与工程学院,广东省功能性纤维与纺织品工程技术研究中心,江门529020 [2]广东工业大学材料与能源学院,广东省智能材料与能量转化器件工程技术研究开发中心,广东省功能软凝聚态物质重点实验室,广州510006

出　　处：《真空科学与技术学报》

基　　金：五邑大学创新创业项目(FZ170502A1)

年　　份：2019

卷　　号：39

期　　号：11

起止页码：937-943

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD_E2019_2020、EI、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、核心刊

摘　　要：本文利用直流磁控溅射法在丙纶无纺布基底沉积铜、不锈钢及氧化铜薄膜,研究了本底真空度、工作气体流量、溅射功率、工作气压等溅射工艺参数对薄膜沉积速率、薄膜厚度和表面形貌的影响规律,测试了镀膜前后样品的抗紫外和抗红外性能。结果表明,一定范围内的本底真空度的变化对成膜性能影响很小;存在一个比较合适的氩气流量大小和工作气体压强范围,使得沉积速率最大;沉积速率与溅射功率成正相关关系。经测试,镀铜膜后的织物抗紫外性能明显提高。

关 键 词：磁控溅射 薄膜  金属膜 织物镀膜  抗紫外

分 类 号：TS174] TB79[纺织类]