文献类型：期刊文章

作　　者：李金龙[1] 周艳文[1] 滕越[1] 张开策[1] 王亚男[1] 郭媛媛[1] 吕哲[1]

LI Jinlong;ZHOU Yanwen;TENG Yue;ZHANG Kaice;WANG Yanan;GUO Yuanyuan;LV Zhe(School of Materials and Metallurgy,Research Institute of Surface Engineering,University of Science and Technology Liaoning,Anshan 114051,China)

机构地区：[1]辽宁科技大学材料与冶金学院表面工程研究所

出　　处：《辽宁科技大学学报》

基　　金：国家自然科学基金（51672119、51702145）;辽宁省科技厅项目(SKLMEA-USTL-201709);辽宁科技大学产业技术研究院重大应用项目(601012431-10);辽宁科技大学创新团队项目（2017TD01）

年　　份：2019

卷　　号：42

期　　号：4

起止页码：263-268

语　　种：中文

收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、普通刊

摘　　要：采用热丝增强等离子体磁控溅射技术,通过改变基体偏压,在TC4钛合金表面沉积了多层素CrN涂层。利用SEM、EDS和XRD分别分析了多层素CrN涂层的形貌、成分及相结构,采用划痕仪、显微硬度仪、纳米压痕仪等对多层素CrN涂层与TC4钛合金的结合力和力学性能进行分析讨论。结果表明,通过调控磁控溅射基体偏压,沉积获得的多层素CrN涂层表面平整致密,截面多层结构明显可见,涂层厚度约5μm。多层素CrN涂层沿(200)、(111)面择优生长;涂层与基体结合力达69 N,其厚度450 nm处的杨氏模量和纳米硬度分别为320 GPa和25 GPa;涂层表面磨痕宽度仅为TC4钛合金的8.5%。多层素CrN涂层与TC4钛合金结合力强,适用于提高钛合金表面的硬度及耐磨损性能。

关 键 词：等离子体增强磁控溅射  TC4钛合金 多层素CrN涂层  结合力 力学性能

分 类 号：TG178]