文献类型：期刊文章

作　　者：王伟超[1] 张军战[1] 张颖[1] 杨迪[1]

WANG Wei-chao;ZHANG Jun-zhan;ZHANG Ying;YANG Di(Functional Materials Laboratory,School of Materials Science and Engineering,Xi′an University of Architecture and Technology,Xi′an 710055,China)

机构地区：[1]西安建筑科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所

出　　处：《表面技术》

年　　份：2019

卷　　号：48

期　　号：10

起止页码：139-147

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2019_2020、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：现代科学技术对各种场合下局域温度的准确测量提出了新的要求,极大地促进了温度传感器的发展。薄膜热电偶因具有无源、响应时间短、精确度高以及对测试环境几乎无影响等优点,在温度测量领域具有广阔的应用前景。对薄膜热电偶近年来的研究进展与热点进行了综述。首先简单介绍了以不同材料为基底时,薄膜热电偶的结构。然后分别介绍了应用于航空发动机热端部件高温测量的金属合金类、陶瓷类和复合类薄膜热电偶及其常用的电极材料。讨论了薄膜厚度、退火处理、电极薄膜类型、气氛和掺杂等工艺对薄膜热电偶热电势、Seebeck系数、耐高温能力和电极材料微观结构等方面的影响,将近年来的典型研究成果进行了汇总,并阐述了陶瓷类薄膜热电偶应用于航空发动机中温度监测的优势。此外,分析讨论了应用于局域二维温度场测量的阵列型薄膜热电偶的发展、结构优化设计、制备工艺研究与改进以及实际测温场合中的布局。最后,对薄膜热电偶在相关应用领域的研究和发展方向进行了展望。

关 键 词：薄膜热电偶 温度测量 热电势 SEEBECK系数

分 类 号：TH811[仪器类]