文献类型：期刊文章

作　　者：屈铭[1] 郑俊杰[1] 李敏[1] 桂聪[1] 宋五洲[1]

QU Ming;ZHENG Jun-jie;LI Min;GUI Cong;SONG Wu-zhou(Center for Joining and Electronic Packaging,School of Materials Science and Engineering,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China)

机构地区：[1]华中科技大学材料科学与工程学院连接与电子封装中心

出　　处：《光子学报》

基　　金：华中科技大学人才引进基金(No.3004110112)~~

年　　份：2019

卷　　号：48

期　　号：9

起止页码：110-117

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种扫描白光干涉法,用于获取LCOS芯片的相位调制特性曲线并对其进行相位校准,而且实现了对LCOS芯片建立的相位光栅的像素级相位分析.将补偿玻璃平板紧贴于参考镜处,克服了白光短相干长度的限制,提高了干涉条纹间的对比度.利用Morlet小波变换法求取白光干涉信号包络曲线的峰值点进行相位值重构,实现了0.01π的相位测量精度,同时保证了横向分辨率为0.79μm.利用Logistics函数对相位调制幅度为2π的二元光栅相位轮廓进行拟合,得到其相位回程区宽度为11.49μm.小像素LCOS芯片构建的闪耀光栅存在相位线性增长区和相位回程区.周期为40μm的闪耀光栅相位回程区宽度为8.81μm,其衍射效率为71.9%.对不同周期的闪耀光栅的相位轮廓进行分析,结果表明:闪耀光栅的周期越小,相位回程区相对宽度越大,衍射效率降低.

关 键 词：空间光调制器 相位调制 衍射光栅 干涉仪  条纹分析

分 类 号：TN29]