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期刊文章详细信息

半导体金刚石与器件    

  

文献类型:期刊文章

作  者:宋登元[1]

机构地区:[1]河北大学电子系,保定071002

出  处:《半导体技术》

年  份:1992

卷  号:8

期  号:4

起止页码:17-20

语  种:中文

收录情况:AJ、BDHX、BDHX1992、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘  要:本文介绍了半导体金刚石材料的结构、光电特性及其器件的特点,总结了与器件制备相关工艺的发展和这种器件的研制历史与现状,同时还指出了金刚石器件走向实用化所需克服的困难。

关 键 词:半导体 金刚石 器件  结构  光电特性

分 类 号:TN304.18]

参考文献:

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耦合文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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