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离子注入及后退火方法制备SiO_2基质中镶嵌ZnO纳米粒子的结构和光学性质 ( EI收录)
Structure and Optical Properties of ZnO Nanoparticles Embedded in SiO_2 Prepared by Ion Implantation and Post-thermal Annealing
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]中国科学院激发态物理重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130022 [2]东北师范大学物理系理论物理研究所,吉林长春130024
基 金:国家自然科学基金资助项目 (60 1760 0 3 )
年 份:2002
卷 号:23
期 号:5
起止页码:445-450
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:利用离子注入及后退火方法在光学纯的石英基片中注入 3× 10 17cm-2 剂量的Zn离子 ,然后在不同的退火条件下制备了高质量的镶嵌在SiO2 基质中的ZnO纳米粒子。X射线衍射光谱的实验结果表明 :在氧气气氛、70 0℃退火温度和 2小时退火时间条件下 ,得到了 (0 0 2 )择优取向镶嵌在SiO2 基质中的ZnO纳米粒子 ;而在 70 0℃退火温度、N2 和O2 气氛下顺次退火 1小时 ,得到了比上述条件 (0 0 2 )择优取向更好的ZnO纳米粒子。室温下对用上述两种条件制备的镶嵌在SiO2 基质中的ZnO纳米粒子观察到了自由激子吸收峰。室温光致发光谱中观察到了ZnO纳米粒子位于 3 2 9eV处的强紫外发射 ,紫外发射强度与深能级发光强度之比为4 0 ,紫外发射峰的半高宽为 96meV ,晶体质量类似于分子束外延方法生长的ZnO。在低温 (77K)光致发光谱中 。
关 键 词:后退火方法 制备 SiO2基质 结构 光学性质 离子注入 ZNO纳米粒子 光致发光 激子 氧化锌 二氧化硅基质
分 类 号:TN304.21] O472.3]
参考文献:
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