文献类型：期刊文章

作　　者：李潇潇[1,2] 张志恒[1,2] 张效宇[1,2] 曹杰君[1,2] 曹兆楼[1,2]

LI Xiaoxiao;ZHANG Zhiheng;ZHANG Xiaoyu;CAO Jiejun;CAO Zhaolou(Jiangsu Key Laboratory for Optoelectronic Detection of Atmosphere and Ocean,Nanjing University of Information Science and Technology,Nanjing 210044,China;Department of Optoelectronic Engineering,School of Physics and Optoelectronic Engi-neering ,Nanjing University of Information Science and Technology,Nanjing 210044,China)

机构地区：[1]南京信息工程大学大气海洋光学探测重点实验室,南京210044 [2]南京信息工程大学物理与光电工程学院光电工程系,南京210044

出　　处：《激光技术》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61605081);江苏省自然科学基金资助项目(BK20150929)

年　　份：2019

卷　　号：43

期　　号：6

起止页码：741-746

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2019_2020、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了解决光学工厂低成本高精度检测光学元件厚度的实际问题,采用像散法厚度测量技术搭建了测量系统,并进行了理论分析和实验验证.该系统通过柱面镜引入像散形成长宽比与厚度相关的椭圆光斑,基于实时图像处理获得元件厚度,具有较高的测量效率,最后使用商用玻璃平片及平凹透镜进行了测量实验.结果表明,该系统测量不确定度在置信概率95%时小于2μm,中心厚测量范围为25mm,能够满足目前一般加工公差要求;该装置操作简单、精度高、成本低,可用于测量透明及不透明材料,适用范围较广.该装置为企业提供了一种低成本、非接触、高精度的厚度测量方案,适合中小型光学加工企业使用,具有广阔的应用前景.

关 键 词：测量与计量  非接触测量 像散 厚度测量 图像处理  

分 类 号：TH741]