文献类型：期刊文章

作　　者：吴泽华[1] 张楠[2] 朱晓农[2]

WU Ze-hua;ZHANG Nan;ZHU Xiao-nong(Department of physics,School of Science,Tianjin University of Science & Technology ,Tianjin 300222,China;Institute of Modem Optics,Nankai University,Tianjin 300350,China)

机构地区：[1]天津科技大学理学院物理系,天津300222 [2]南开大学现代光学研究所,天津300350

出　　处：《光电子．激光》

基　　金：天津市高等学校科技发展基金项目(20140902);天津市自然科学基金(16JCQNJC01900)资助项目

年　　份：2019

卷　　号：30

期　　号：8

起止页码：891-900

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、核心刊

摘　　要：利用时间分辨阴影图研究了脉冲能量在200微焦的多脉冲飞秒激光烧蚀铝靶的动态过程、并使用扫描电镜研究了靶材表面烧蚀区域的形貌特征。时间分辨阴影图的记录结果表明,在不同时间延迟条件下,飞秒激光烧蚀铝靶形成的冲击波体积和喷射物的空间分布均随着脉冲个数的增加而发生不同程度的变化,尤其是单脉冲烧蚀情况下在1 ns延时阴影图中观察到的近同心圆条纹会随着脉冲数目增加逐渐变得模糊乃至消失。烧蚀区的电子扫描显微镜图像清楚地揭示出烧蚀过程中伴随有液态铝的产生,其溅射凝固后在靶材表面形成小球和细丝状微纳结构。实验结果进一步证实了由前序脉冲烧蚀导致的铝靶表面结构的改变会对后继脉冲的烧蚀产生显著影响,从而使多脉冲烧蚀表现出明显不同于单脉冲烧蚀的特性。这些结果对飞秒激光脉冲沉积薄膜、直写生成表面微结构等应用的工艺参数优化具有很好的指导意义。

关 键 词：超快现象  飞秒激光烧蚀 时间分辨阴影图  表面形貌分析  

分 类 号：O437]